Работы. Мемуар

Просто попало под месячник, а то бы мы просто так и пользовались дьюарной кружкой для жидкого азота, как раньше, без оформления. В общем, практика с рацпредложениями сильно отличалась от разработанных для них положений, которые я тогда прочёл.

В калибровке Оже-спектрометра я столкнулся с непреодолимыми трудностями. Для изучения линейности или нелинейности зависимости величины низкоэнергетического (92 эВ) Оже-пика кремния от интенсивности пучка электронной пушки, было необходимо в процессе измерений очищать образец от нарастающего на нём под действием электронного пучка слоя углеродных загрязнений.

Потому что вакуум в спектрометре был всё-таки не совсем на нужном уровне. Для очистки образца применялась та же аргонная ионная пушка, что для элементного анализа по глубине, только для профиля по глубине нужны большая мощность и время работы. Небольшим количеством аргона, попадающим в камеру через диафрагму пушки вместе с ионным пучком, можно пренебречь – уж он-то на поверхность образца не должен прилипать, являясь инертным газом. Однако, не успел я включить собственно пушку, только напуск аргона в неё открыл, как Оже-пик кремния сильно изменился. Он увеличился и стал шире, то есть, похоже, состоял теперь из двух сходных отчасти перекрывающихся пиков с небольшим сдвигом друг относительно друга по энергетической шкале. Какое-то количество аргона, просачиваясь в вакуумную камеру, попадало и в электронную пушку, и та принялась выстреливать ионы аргона вместе с собственными электронами. Не знаю, как это возможно. Мало того, что ионы должны быть отрицательно заряжены, их пучок, вообще-то, не должен был фокусироваться так же, как электронный. Но другого объяснения лишнему пику я не придумал. Ионы аргона тоже возбуждали Оже-эмиссию. Но с пиком другой формы, во всяком случае, что касалось кремния. Если настоящую ионную пушку я мог включать только время от времени, чтобы почистить образец между измерениями, то этот эффект работы электронной пушки как самозваной ионной устранить было невозможно. Если бы я попытался измерения проводить без аргона в пушке, и после работы пушки ждал откачки аргона, измерения растянулись бы на такое время, что и без электронного пучка поверхность образцов загрязнялась бы. Не говоря о том, что никто не дал бы мне особо много приборного времени на непроизводственную надобность.